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知识科普

半导体超纯水如何制备?

更新时间:2020-04-29    发布者:蓝膜树脂
半导体超纯水一般会使用超纯水树脂进行处理,超纯水树脂是一种专门用于处理超纯水的树脂,产水的电阻率能够达到18兆欧以上,能够完全满足半导体对超纯水的需求,通常应用在超纯水系统的末端。
 
超纯水的标准:
超纯水电阻率18MΩ*cm(25℃)。电阻率在工作温度25℃时,最高理论值能达到18.3MΩ•cm。实际超纯水设备产水在线测试最高值是18.2MΩ•cm。
 
超纯水树脂:
超纯水树脂是一种高品质的凝胶型均粒性混床树脂。超纯水树脂一般由阴阳离子交换树脂混合而成,专用于超纯水抛光处理阶段的混床系统。
 
超纯水树脂制备超纯水的原理:
超纯水树脂是专门用来制造超纯水的树脂,属于混床树脂的一种,是将阳、阴离子交换树脂放在同一个交换床,并在运行前混合均匀。混床就是由很多阳、阴离子交换树脂组合成的多级式复床。在混床中,阳、阴树脂是相互混合均匀的,所以阳、阴离子交换反应几乎是同时进行的。或者说水的阳离子交换和阴离子交换是多次交换进行的。即经H型阳离子交换所产生的H+和经OH型离子交换所产生的OH一不能积累起来,会立即生成离解度很低的水。这样就基本上消除了反离子的影响,离子交换反应可以进行得很彻底,所以混床的出水质量很高。
 
超纯水树脂有什么优势?
1.出水水质优良:一般用强酸、强碱树脂装填的混合床,出水含盐量在1mg/L以下,电导率小于0.06~0.2mg/L左右,出水pH值接近中性。
2.出水水质稳定:短时间运行条件变化(如进水水质或组分.运行流速等)对混床出水水质影响不大。
3.间断运行对出水水质的影响小,恢复到停运前水质所需的时间比较短,一般只要3~5分钟。
4.交换终点明显:混床在失效前,出水电导率上升很快,这有利于失效监督。
5.超纯水树脂仅需4倍床层体积的冲洗便能使出水达到18.3Mcm。
6.具有高度耐磨性,防止使用过程中出现破碎,树脂颗粒无裂纹率>95%。
 
制备超纯水时的注意事项:
1.整个应用过程尽量避免有机械杂质进入树脂里面,还要将原液进行过滤。
2.树脂含水量能有百分之七十,防止冬季出现结冰现象。
3.任何一种树脂都应以湿态保存,如果出现失水,立即使用乙醇或丙酮长时间浸泡。
4.定期换水防止受到各种类型污染,保证树脂寿命。

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