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知识科普

半导体行业用超纯水树脂

更新时间:2019-11-27    发布者:蓝膜树脂
超纯水制备时,一般都会采用EDI模块和超纯水树脂两种,而EDI模块提纯后的产水电阻率最高是16MΩ,而半导体行业对水质要求非常高。所以一般会采用超纯水树脂来制备超纯水。
 
半导体行业为什么要使用超纯水树脂?
半导体所使用的水,需要达到非常严格的要求,一般半导体用水的电阻率需要达到18兆欧,而超纯水树脂的产水可以满足这个需求,而且成本相比其他的设备要低一些,所以半导体行业一般都是会使用超纯水树脂来制备超纯水。
 
超纯水树脂有什么特点?
1.它具有交换容量高、制水量大、出水水质稳定,使用方便。
2.极高的再生转型率。
3.超纯水出水最低的离子和金属残留特性;最低的TOC 溶出物。
4.超纯水混床树脂仅需4倍床层体积的冲洗便能使出水达到18.3Mcm。
5.树脂颗粒无裂纹率>95%。
6.高度耐磨性,防止使用过程中出现破碎。
7.卓越的机械完整性。
 
半导体行业使用的超纯水树脂有哪些?
罗门哈斯UP6150树脂:
罗门哈斯UP6150超纯水树脂,是一种可以直接使用的混床树脂,不需要经过预处理就可以直接使用,而且UP6150树脂是可以完全再生的,产水在运行的第一个周期就能够达到18兆欧,该树脂的均匀粒径使混合床的使用周期中的动力学性能最大化,同时仍允许随后的分离和再生。
 
罗门哈斯UP6040树脂:
罗门哈斯UP6040超纯水树脂,是一种半导体级离子交换树脂混合床树脂,是专门为半导体行业而生产的一种树脂,该混合树脂产品由高容量,完全再生的强酸和强碱凝胶型离子交换树脂的等效混合物组成,树脂混合物没有结块。组分树脂的粒度是专门设计的,以减少阳离子和阴离子树脂在水浆中处理时分离的自然趋势。这确保了完美的混床平衡性能,因为树脂将在最终抛光容器中保持紧密混合。
 
有什么注意事项?
新的超纯水抛光树脂里面一般会含有一些杂质,在使用之前需要对树脂进行预处理,如果不进行预处理的话,杂质会随着进水流入水中,污染出水的水质。
在一定的条件下,氧化性试剂例如硝酸会侵蚀有机的超纯水抛光树脂。这种影响可能小到只会导致轻微的树脂降解,大到会导致剧烈的放热反应(如爆炸)。所以在使用强氧化剂之前,需要先向技术人员确认。


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