芯片封测环节需要使用杜邦超纯水树脂
芯片封测作为半导体产业链后端核心环节,承担晶圆切割、研磨、键合、基板清洗、塑封、测试等关键工序。随着 FCBGA、Chiplet 等先进封装快速普及,封装引脚间距不断缩小,器件对污染的耐受阈值持续降低。很多封测厂设备、工艺、原材料全部达标,却出现虚焊、引脚腐蚀、电性测试不良、批次良率波动,问题根源往往隐藏在超纯水系统之中,杜邦电子级超纯水抛光树脂,正是封测产线超纯水终端精处理不可或缺的核心耗材。

封测全流程多处工序高度依赖超纯水。晶圆划片时,超纯水充当冷却与冲洗介质,及时带走硅屑、微颗粒,防止碎屑划伤芯片裸片;研磨减薄之后,需要大量超纯水完成晶片漂洗,去除表面研磨残渣;引线框架、BGA 基板、芯片引脚清洗环节,要依靠超纯水冲除油污、金属碎屑与微粒;倒装键合、底部填充、封装后清洗以及电性测试,同样对用水纯度有着严苛要求。
水中 ppb 甚至 ppt 级别的钠、铁、铜、硅、硼离子、微量 TOC 有机物,肉眼完全无法察觉,却会带来严重生产隐患:金属离子残留造成引脚氧化腐蚀,引发虚焊、接触电阻异常;硅、硼杂质析出形成微颗粒,造成芯片表面污染;有机物附着在基板表面,降低胶体、焊料附着力,直接导致封装脱层、器件可靠性下降,车规级芯片还会埋下后期失效风险。
完整的封测厂超纯水链路一般为预处理双级反渗透EDI终端杜邦超纯水抛光树脂精密过滤工艺使用点。反渗透与 EDI 可以去除水体绝大部分盐分,但面对硅、硼这类弱电解质以及痕量泄漏金属离子,处理能力存在上限,出水电阻率很难稳定维持 18.2MΩ・cm 理论纯水标准。
杜邦 AmberTec 系列 UP6150、UP6040 半导体级抛光树脂,为一次性预混氢 / 氢氧型混床树脂,部署在 EDI 之后的终端抛光罐。水流经过树脂床层,阳树脂捕捉各类金属阳离子,阴树脂吸附硅酸根、硼、各类阴离子,交换生成水分子,可将出水水质稳定达到 SEMI 半导体标准,把痕量离子、TOC 压制到极低水平,补齐前端工艺的短板,给封测各工序提供原子级洁净的工艺用水。
在实际生产当中,不少封测企业将重心放在封装设备、键合工艺、塑封材料选型,忽视终端抛光树脂运维。EDI 出水看着指标尚可,但缺少抛光树脂兜底,水质轻微波动就会传导至产品,出现良率忽高忽低,故障排查难度大。
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